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        真空鍍膜機離子泵維修要點?
        發布時間:2023-04-10 瀏覽:716 次

          離子泵是一種可以應用于超高真空下的清潔無油真空泵,以下離子泵維修內容僅供學習。

          一、關于烘烤。

          濺射離子泵如果長期暴露于大氣中,會因為泵內的鈦沉積層吸附水汽,導致泵啟動困難、極限壓力升高、抽速變小等問題,因此啟動前需要經過烘烤。烘烤時需要將磁鋼、各種引線、橡膠密封圈等拆下,緩慢升溫至250~300℃,然后恒溫12小時,并且保證烘烤時泵內真空度不低于0.1Pa。

          二、清洗處理。

          離子泵如果受過油蒸氣或者其他有機物污染,陰極板氧化或大量排過氫氣,會影響到它的真空度。這時一般會在烘烤除氣后再進行氬清洗處理。

          過程是用氬離子轟擊鈦板,將陰極板上的污染物或溶解在陰極板里的氫轟擊出來,再被大量濺射的鈦所吸收或埋葬掉。充氬壓力維持在10-2Pa量級或觀察離子流維持早10~200mA之間擺動。整個清洗過程大約在1~2小時。

          三、使用壓力與壽命。

          離子泵的濺散率取決于轟擊的離子數與能量,壓力越高,陰極濺射越劇烈,因此它的使用壽命是與工作壓力成法比的。所以雖說濺射離子泵的工作壓力范圍可以從1Pa到10-10Pa,但為提高濺射離子泵的使用壽命,盡量不要在10-2Pa以上的壓力范圍下工作。

          以上內容由真空鍍膜機廠家愛加真空收集整理自網絡,僅供學習和參考!

          
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